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Materialuntersuchungen an Exhaust- Und Drainleitungen

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Paperback / softback
  • Materialuntersuchungen an Exhaust- Und Drainleitungen by Rom Antonia
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Description

In der Halbleiterfertigung werden Spezialmedien benotigt um die Strukturen auf einem Mikrochip im Nanometer Bereich herstellen zu konnen. Alle Medien mussen nach dem Einsatz Reinigungsprozesse durchschreiten um abschliessend emittiert werden zu konnen. Beim Abluftreinigungsprozess kommt es aber auf Grund von Wartungen zu Situationen in denen Abluftstrome unverbrannt in die Leitungen gelangen. Genau dann kommt es zu Rissen in Kunststoffrohrteilen der Abluftleitungen. Die vorliegende Arbeit beschaftigt sich mit der Ermittlung der potentiellen Ausloser dieser Risse, sowie der Untersuchung eines anderen Werkstoffes fur diesen speziellen Einsatz
Release date Australia
November 12th, 2013
Author
Audience
  • General (US: Trade)
Country of Publication
United States
Illustrations
black & white illustrations
Imprint
AV Akademikerverlag
Pages
176
Publisher
AV Akademikerverlag
Dimensions
152x229x10
ISBN-13
9783639475371
Product ID
26935860

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