In der vorliegenden Arbeit werden verschiedene Ansatze zur Losgrossenoptimierung am Beispiel der Halbleiterindustrie vorgestellt und kritisch betrachtet. Dabei wird ein besonderer Fokus auf den Einfluss der Losgrosse bezuglich Kosten, Zeit und Qualitat gesetzt. Da in der Halbleiterindustrie sogenannte Wafer hergestellt werden, deren Bearbeitung uber 1000 einzelne Schritte erfordern kann, spielt die Losgrosse eine zentrale Rolle als Kostentreiber. Es gilt die richtige Balance zwischen Lager- und Rustkosten zu finden. Daruber hinaus wird die Rolle des Single-Wafer-Processings in modernen Chip-Fabriken betrachtet und in Bezug auf die zukunftige Entwicklung der Fertigungsprozesse untersuc